Tail gas treatment equipment can handle gases used in etching processes and chemical vapor deposition processes in the semiconductor, liquid crystal, and solar energy industries, including SiH4, SiH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O, and so on.
Echapman metòd tretman gaz
Selon karakteristik tretman gaz echapman an, tretman an ka divize an kat kalite tretman:
1. Kalite lave dlo (tretman gaz korozivite)
2. kalite oksidant (fè fas ak gaz ki ka pran dife ak toksik)
3. Adsorption (dapre kalite materyèl adsorption pou fè fas ak gaz echapman ki koresponn lan).
4. PLASMA KOMPUTION Kalite (tout kalite gaz echapman yo ka trete).
Chak kalite tretman gen avantaj pwòp li yo ak dezavantaj kòm byen ke sijè ki abòde li yo nan aplikasyon an. Lè metòd tretman an se lave dlo, ekipman an se bon mache epi ki senp, epi yo ka sèlman okipe dlo-soluble gaz; Ranje aplikasyon an nan kalite lave dlo elektrik la pi wo pase sa ki nan kalite lave dlo a, men pri operasyon an wo; Kalite sèk la gen bon efikasite tretman, epi li pa aplikab pou koule gaz la ki fasil pou yo bouche oswa koule.
Pwodwi chimik yo ak pwodwi pa yo souvan itilize nan endistri a semi-conducteurs ka kategori dapre pwopriyete chimik yo ak chenn diferan yo:
1. Gaz ki ka pran dife tankou SIH4H2, elatriye.
2. gaz toksik tankou ASH3, PH3, elatriye.
3. gaz korozivite tankou HF, kloridrat, elatriye.
4. gaz lakòz efè tèmik tankou CF4, NF3, elatriye.
Depi kat gaz ki anwo yo se danjere nan anviwònman an oswa kò moun, yo dwe anpeche emisyon dirèk li yo nan atmosfè a, se konsa plant la semi-conducteurs jeneral yo enstale ak yon gwo sistèm tretman gaz echapman santralize, men sistèm sa a se sèlman dlo foubi echapman, se konsa aplikasyon li yo limite a sa sèlman long-distans dlo-soluble gaz, epi yo pa ka fè fas ak tout tan tout tan-chanjman nan dlo-soluble, epi yo pa ka fè fas a. Se poutèt sa, li nesesè yo chwazi ak matche ak korespondan echapman gaz la ekipman tretman dapre karakteristik sa yo gaz sòti nan chak pwosesis yo nan lòd yo rezoud pwoblèm nan gaz echapman nan yon ti fason. Kòm zòn nan k ap travay se sitou lwen sistèm nan tretman gaz echapman santral, souvan akòz karakteristik gaz mennen nan kristalize oswa akimilasyon pousyè nan tiyo a, sa ki lakòz obstrue nan tiyo a ki mennen ale nan flit gaz, ak nan ka grav, menm lakòz yon eksplozyon, pa ka asire ke sekirite travay la sit la. Se poutèt sa, nan zòn nan travay bezwen configured yon ti ekipman pou echapman gaz tretman apwopriye pou karakteristik sa yo nan gaz la pwosesis, yo nan lòd yo diminye gaz la echapman kowonpi nan zòn nan travay, asire sekirite a nan pèsonèl yo.
Post tan: Aug-10-2023