Itilizasyon gaz nan endistri semi -conducteurs yo tounen nan kòmansman ane 1950 yo pou 1960. Pandan pwosesis manifakti semi -conducteurs yo, gaz yo sitou itilize pou netwaye ak pwoteje materyèl semi -conducteurs pou asire pite yo ak bon jan kalite yo. Pami gaz yo pi souvan itilize yo se azòt ak idwojèn.
Kòm teknoloji semi -conducteurs devlope ak manifakti pwosesis kontinye amelyore, demann lan pou gaz ogmante. An 1970, plis devlopman nan teknoloji manifakti semi -conducteurs, aplikasyon an nan gaz nan pwosesis kle tankou grave ak depozisyon nan fim mens piti piti ogmante, ak gaz fliyò (egzanp SF6) ak oksijèn te vin souvan itilize grave ak depozisyon gaz. 1980 te wè yon ogmantasyon pli lwen nan demann pou gaz ak devlopman nan sikwi entegre ak ogmantasyon nan demand pou yo. Idwojèn te lajman itilize nan pwosesis manifakti a, ki gen ladan idwojèn rkwir ak depozisyon vapè idwojèn. Ak soti nan 1990 a prezan an, demann lan pou gwo pite gaz ak gaz espesifik te ogmante kòm gwosè aparèy semi-conducteurs yo te kontinye retresi ak nouvo pwosesis yo te prezante. Pou egzanp, aplikasyon an nan litografi ekstrèm iltravyolèt (EUV) mande pou itilize nan gaz trè wo-pite tankou nitwojèn ak idwojèn.
Semiconductor gaz kontinye ap ogmante ak devlopman nan pwodwi ki gen rapò ak kondwi pa plis ak plis pwodwi yo devwale, pandan y ap gaz la tou ki dwe nan sous la nan danje, se konsa pwodwi yo itilize pou dekonpwesyon gaz, pwodwi deteksyon gaz ak anpeche pwodwi flit gaz yo te parèt tankou regilatè presyon, tiyo gaz, mezi presyon gaz, gaz, elatriye, ak
Regilatè presyon: regilatè presyon yo se aparèy yo itilize pou kontwole presyon gaz la. Anjeneral, yo konpoze de yon valv regilatè ak yon Capteur presyon. Regilatè presyon pran yon gwo presyon gaz opinyon ak estabilize presyon an nan gaz la pwodiksyon pa ajiste valv la satisfè kondisyon aplikasyon espesifik. Regilatè presyon yo lajman itilize nan zòn tankou endistri, manifakti ak laboratwa, osi byen ke nan endistri a semi -conducteurs, nan mitan lòt moun, asire estabilite a ak sekirite nan rezèv la gaz.
Tiyo gaz: tiyo gaz yo te itilize pou kontwole koule gaz yo ak pou fèmen pasaj gaz yo. Anjeneral, yo gen yon fonksyon sou/sou ki ouvè oswa fèmen koule gaz la. Gen divès kalite tiyo gaz, ki gen ladan tiyo manyèl, tiyo elektrik ak tiyo konpwesyon. Yo lajman itilize nan sistèm gaz yo kontwole koule a, presyon ak pousantaj koule nan gaz.
Mezi presyon gaz: mezi presyon gaz yo te itilize pou mezire nivo presyon yon gaz. Anjeneral, yo enstale nan kote kritik nan sistèm gaz yo kontwole chanjman presyon ak asire yo ke yo nan limit ki an sekirite. Mezi presyon gaz yo lajman itilize nan endistri, manifakti ak laboratwa, ak endistri a semi -conducteurs te tou te patisipe.
Detektè fwit gaz: detektè gaz fwit yo itilize pou detekte fwit nan sistèm gaz yo. Yo detektePrezans nan fwit gaz ak son yon alam pou ke aksyon alè ka pran yo anpeche aksidan flit. Detektè fwit gaz yo lajman itilize nan aplikasyon endistriyèl, chimik, lwil ak gaz, ak endistri a semi -conducteurs te tou te enplike nan sa.
Post tan: Feb-20-2024