Nan fabwikasyon semi -conducteurs, gaz fè tout travay la ak lazer jwenn tout atansyon a. Pandan ke lazer fè modèl tranzistò etch nan Silisyòm, etch la ki premye depo Silisyòm a ak kraze desann lazè a fè sikwi konplè se yon seri de gaz. Li pa etone ke gaz sa yo, ki yo te itilize yo devlope mikro nan yon pwosesis milti-etap, yo nan pite segondè. Anplis de limit sa a, anpil nan yo gen lòt enkyetid ak limit. Gen kèk nan gaz yo kriyojenik, lòt moun yo se korozivite, epi yo toujou lòt moun yo trè toksik.
Tout moun nan tout, limit sa yo fè manifakti sistèm distribisyon gaz pou endistri a semi -conducteurs yon defi konsiderab. Espesifikasyon materyèl yo mande. Anplis de espesifikasyon materyèl, yon etalaj distribisyon gaz se yon etalaj konplèks elektwomekanik nan sistèm konekte. Anviwònman yo nan ki yo reyini yo konplèks ak sipèpoze. Fabrication final pran plas sou sit kòm yon pati nan pwosesis la enstalasyon. Soudaj òbital ede satisfè gwo espesifikasyon yo nan kondisyon distribisyon gaz pandan y ap fè manifakti nan sere, anviwònman defi pi fasil pou metrize.
Ki jan endistri a semi -conducteurs sèvi ak gaz
Anvan eseye planifye fabrike yon sistèm distribisyon gaz, li nesesè pou konprann omwen Basics nan manifakti semi -conducteurs. Nan nwayo li yo, semi-kondiktè yo itilize gaz pou depoze solid tou pre-elemantè sou yon sifas nan yon fason ki trè kontwole. Sa yo depoze solid yo Lè sa a, modifye pa entwodwi gaz adisyonèl, lazer, etchant chimik, ak chalè. Etap yo nan pwosesis la gwo yo se:
Depozisyon: Sa a se pwosesis la nan kreye premye wafer la Silisyòm. Gaz précurseur Silisyòm yo ponpe nan yon chanm depozisyon vakyòm ak fòme mens silikon mens nan pwodui chimik oswa entèraksyon fizik.
Photolithography: seksyon an foto refere a lazer. Nan pi wo ekstrèm litografi iltravyolèt (EUV) spectre yo itilize fè bato yo spesifikasyon pi wo, se yon lazè gaz kabonik itilize yo grave sikwi a mikro nan wafer la.
Grave: Pandan pwosesis la grave, se gaz alojene-kabòn ponpe nan chanm lan yo aktive ak fonn materyèl yo chwazi nan substrate a Silisyòm. Pwosesis sa a efektivman grave sikwiyèr lazè-enprime sou substrate la.
Dopan: Sa a se yon etap adisyonèl ki chanje konduktiviti nan sifas la grave detèmine kondisyon yo egzak anba ki semi -conducteurs la fè.
RENELING: Nan pwosesis sa a, reyaksyon ant kouch wafer yo deklannche pa presyon ki wo ak tanperati. Esansyèlman, li finalize rezilta yo nan pwosesis la anvan ak kreye processeur a finalize nan wafer la.
Chanm ak liy netwayaj: gaz yo itilize nan etap sa yo anvan yo, espesyalman grave ak dopan, yo souvan trè toksik ak reyaktif. Se poutèt sa, chanm lan pwosesis ak liy gaz yo manje li bezwen yo dwe ranpli ak gaz netralize diminye oswa elimine reyaksyon danjere, ak Lè sa a, plen ak gaz inaktif yo anpeche entrizyon an nan nenpòt ki gaz ki kontamine soti nan anviwònman an deyò.
Sistèm distribisyon gaz nan endistri a semi -conducteurs yo souvan konplèks paske nan anpil gaz yo diferan ki enplike ak kontwòl la sere nan koule gaz, tanperati ak presyon ki dwe konsève sou tan. Sa a se plis konplike pa pite a ultra-segondè ki nesesè pou chak gaz nan pwosesis la. Gaz yo itilize nan etap anvan an dwe wouj soti nan liy yo ak chanm oswa otreman netralize anvan pwochen etap la nan pwosesis la ka kòmanse. Sa vle di ke gen yon gwo kantite liy espesyalize, interfaces ant sistèm nan soude tib ak tiyo yo, interfaces ant tiyo yo ak tib yo ak regilatè yo gaz ak detèktè, ak interfaces ant tout nan eleman yo deja mansyone yo ak tiyo yo ak sistèm sele ki fèt yo anpeche tiyo kontaminasyon nan ekipman pou gaz natirèl la nan men yo te échanj.
Anplis de sa, eksteryè cleanroom ak gaz espesyalite yo pral ekipe ak sistèm ekipman pou gaz esansyèl nan anviwònman cleanroom ak zòn espesyalize nan prizon yo bese nenpòt ki danje nan evènman an nan flit aksidan. Soudi sistèm gaz sa yo nan yon anviwònman konsa konplèks se pa yon travay fasil. Sepandan, ak swen, atansyon sou detay yo ak ekipman an dwa, ka travay sa a dwe akonpli avèk siksè.
Faktori sistèm distribisyon gaz nan endistri a semi -conducteurs
Materyèl yo itilize nan sistèm distribisyon gaz semi -conducteurs yo trè varyab. Yo ka enkli bagay tankou tiyo metal PTFE-aliyen ak tiyo reziste gaz trè korozivite. Materyèl ki pi komen yo itilize pou kanalizasyon jeneral nan endistri semi -conducteurs la se 316L asye pur - yon ki ba kabòn Variant asye pur. Lè li rive 316L kont 316, 316L se pi plis rezistan a kowozyon intergranular. Sa a se yon konsiderasyon enpòtan lè fè fas ak yon seri de gaz trè reyaktif ak potansyèlman temèt ki ka rouye kabòn. Soudi 316L asye pur degaje mwens presipite kabòn. Li tou diminye potansyèl la pou ewozyon fwontyè grenn jaden, ki ka mennen nan opozisyon korozyon nan soud ak chalè ki afekte zòn.
Pou diminye posibilite pou kanalizasyon korozyon ki mennen ale nan pwodwi liy korozyon ak kontaminasyon, 316L asye pur soude ak pi bon kalite Agon pwoteksyon gaz ak gaz tengstèn pwoteje soude ray se estanda a nan endistri a semi -conducteurs. Pwosesis la sèlman soude ki bay kontwòl ki nesesè yo kenbe yon anviwònman pite segondè nan kanalizasyon pwosesis. Otomatik soude òbital se sèlman ki disponib nan distribisyon gaz semi -conducteurs
Post tan: Jul-18-2023