Kòm mache a semi -conducteurs ap grandi, estanda pou pite ak presizyon vin pi sevè. Youn nan faktè ki detèmine nan bon jan kalite a nan manifakti semi -conducteurs se gaz yo itilize nan pwosesis la. Gaz sa yo jwe anpil wòl nan pwosesis manifakti a, ki gen ladan:
Kontwòl pwosesis presizyon
Prevansyon kontaminasyon
Amelyorasyon pwopriyete metalurji
Pou fè wòl sa yo efektivman, ekipman pou gaz la ak sistèm distribisyon yo dwe efikas. Desen an nan sistèm manyen gaz yo itilize nan manifakti semi -conducteurs dwe sipòte pa konpozan gaya ak asanble Customized asire pwodiksyon serye ak kalite siperyè nan semi -kondiktè.
Gaz yo itilize nan manifakti semi -conducteurs
Pwosesis la nan semi -kondiktè fabrikasyon mande pou itilize nan gaz diferan nan diferan etap nan pwosesis la.
Pandan ke gaz komen tankou azòt, idwojèn, Agon ak elyòm ka itilize nan fòm pi yo, sèten pwosesis ka mande pou melanj espesyalize. Silan oswa siloksan, hexafluorides, halogen ak idrokarbur yo se kèk nan gaz yo espesyalite yo itilize nan manifakti semi -conducteurs. Anpil nan gaz sa yo ka danjere oswa trè reyaktif, kreye defi nan seleksyon an ak konsepsyon de konpozan pou sistèm gaz.
Men kèk egzanp:
Idwojèn ak elyòm ka fasilman genyen fuit soti nan kanalizasyon ak sistèm Fitting akòz ti gwosè atomik yo ak pwa.
Silan yo trè ki ka pran dife epi yo ka natirèlman boule (autoignite) nan lè.
Nitwojèn difluoride yo itilize nan depozisyon an, grave ak chanm netwayaj etap vin yon gaz ki pisan lakòz efè tèmik lè fwi nan anviwònman an.
Fliyò idwojèn (gaz grav) se trè korozivite nan kanalizasyon metal.
Trimethylgallium ak amonyak ka difisil pou okipe - ti fluctuations nan tanperati yo ak kondisyon presyon kapab afekte pwosesis la depozisyon.
Kondisyon pwosesis kontwole pou minimize efè negatif gaz sa yo dwe yon pi gwo priyorite pandan konsepsyon sistèm lan. Li se egalman enpòtan yo sèvi ak eleman ki pi wo bon jan kalite tankou AFK tiyo dyafram pandan pwosesis la bati.
Adrese defi konsepsyon sistèm lan
Gaz klas semi -conducteurs yo nan pifò ka yo nan pite segondè, epi yo bay kondisyon inaktif oswa amelyore reyaksyon nan diferan etap nan pwosesis manifakti a, tankou etch ak gaz depozisyon. Flit oswa kontaminasyon nan gaz sa yo ka gen efè negatif. Se poutèt sa, li enpòtan pou eleman yo sistèm itilize yo dwe hermetically sele ak korozyon rezistan kòm byen ke gen yon fini sifas lis (elektwolitik polisaj) asire ke pa gen okenn posibilite nan kontaminasyon ak ke yon nivo trè wo nan pwòpte ka konsève.
Anplis de sa, kèk nan gaz sa yo ka chofe oswa refwadi reyalize kondisyon pwosesis vle. Konpozan ki byen izole asire kontwòl tanperati a, ki se kritik pou pèfòmans efikas nan pwodwi final la.
Soti nan Inlet nan sous nan pwen an nan itilize, lajè ranje AFK a nan konpozan sipòte pite a ultra-segondè, tanperati, presyon ak kontwòl koule egzije nan chanm semi-conducteurs ak chanm vakyòm.
Sistèm ki fèt ak konpozan bon jan kalite nan semi -conducteurs fabs
Wòl nan konpozan bon jan kalite ak optimize konsepsyon se kritik nan kontwòl la egzak ak fabrike san danje nan semi -kondiktè. Konpozan yo itilize bezwen yo dwe gaya ak fwit-gratis matche ak kondisyon sa yo pwosesis varye egzije nan diferan etap nan manifakti.Afk a-wo kalite tiyo, ekipman, regilatè, kanalizasyon, ak parantèz sele yo karakterize pa karakteristik sa yo:
Ultra-wo pite
Fwit-gratis sele
Tanperati kontwole izolasyon
Kontwòl presyon
Rezistans korozyon
Tretman elektwolitik polisaj
Post tan: Oct-09-2023