Teknoloji tiyo-wo pite gaz se yon pati enpòtan nan sistèm ekipman pou gaz-wo pite, ki se teknoloji kle pou delivre gaz-wo pite ki nesesè nan pwen an nan itilize epi toujou kenbe bon jan kalite a kalifye;Teknoloji kanalizasyon gaz pite-wo gen ladan konsepsyon kòrèk sistèm nan, seleksyon an nan ekipman ak Pwodwi pou Telefòn, konstriksyon ak enstalasyon, ak tès.Nan dènye ane yo, kondisyon yo de pli zan pli strik sou pite ak enpurte kontni nan gaz-wo pite nan pwodiksyon an nan pwodwi mikwo-elektwonik ki reprezante pa gwo-echèl sikwi entegre te fè teknoloji a kanalizasyon nan gaz-wo pite de pli zan pli konsène ak mete aksan sou.Sa ki anba la a se yon apèsi tou kout sou tiyo gaz pite segondè soti nan seleksyon materyèlof konstriksyon, osi byen ke akseptasyon ak jesyon chak jou.
Kalite gaz komen
Klasifikasyon gaz komen nan endistri elektwonik la：
Gaz komen（En gaz）: idwojèn (H2), azòt (N2), oksijèn (O2), agon (A2), elatriye.
Gaz espesyalse SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… elatriye.
Kalite gaz espesyal yo ka jeneralman klase kòm korozivitegaz, toksikgaz, ki ka pran difegaz, ki ka pran difegaz, inaktifgaz, elatriye Gaz yo souvan itilize semiconductor yo jeneralman klase jan sa a.
(i) Kowozif / toksikgaz: HCl, BF3, WF6, HBr , SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3… elatriye.
(ii) Enflamabilitegaz: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO... elatriye.
(iii) konbustilitegaz: O2, Cl2, N2O, NF3… elatriye.
(iv) inaktifgaz: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, Li... elatriye.
Anpil gaz semi-conducteurs danjere pou kò moun.An patikilye, kèk nan gaz sa yo, tankou SiH4 konbisyon espontane, osi lontan ke yon koule pral reyaji vyolans ak oksijèn nan lè a epi kòmanse boule;ak AsH3trè toksik, nenpòt flit ti tay ka lakòz risk pou lavi moun, li se paske nan danje sa yo evidan, kidonk kondisyon yo pou sekirite nan konsepsyon sistèm lan se patikilyèman wo.
Dimansyon aplikasyon gaz yo
Kòm yon materyèl debaz enpòtan nan endistri modèn, pwodwi gaz yo lajman itilize, ak yon gwo kantite gaz komen oswa gaz espesyal yo itilize nan metaliji, asye, petwòl, endistri chimik, machin, elektwonik, vè, seramik, materyèl bilding, konstriksyon. , pwosesis manje, medikaman ak sektè medikal.Aplikasyon gaz la gen yon enpak enpòtan sou teknoloji segondè nan jaden sa yo an patikilye, epi li se gaz matyè premyè endispansab oswa gaz pwosesis.Se sèlman ak bezwen yo ak pwomosyon nan divès nouvo sektè endistriyèl ak syans modèn ak teknoloji, pwodwi endistri gaz yo ka devlope pa franchi ak limit an tèm de varyete, bon jan kalite ak kantite.
Aplikasyon gaz nan endistri mikwo-elektwonik ak semi-conducteurs
Itilizasyon gaz te toujou jwe yon wòl enpòtan nan pwosesis semi-conducteurs, espesyalman pwosesis semi-conducteurs yo te lajman itilize nan divès endistri, ki soti nan tradisyonèl ULSI, TFT-LCD ak aktyèl endistri mikwo-elektwo-mekanik (MEMS), tout ki itilize pwosesis sa yo rele semi-conducteurs kòm pwosesis fabrikasyon pwodwi yo.Pite gaz la gen yon enpak desizif sou pèfòmans konpozan ak pwodiksyon pwodwi yo, epi sekirite rezèv gaz la gen rapò ak sante pèsonèl yo ak sekirite operasyon plant yo.
Siyifikasyon nan gwo-pite tiyo nan transpò gaz-wo pite
Nan pwosesis la nan asye pur k ap fonn ak fè materyèl, apeprè 200g gaz ka absòbe pou chak tòn.Apre pwosesis la nan asye pur, se pa sèlman sifas li yo kolan ak divès kalite kontaminan, men tou, nan lasi metal li yo tou absòbe yon sèten kantite gaz.Lè gen koule lè nan tiyo a, metal la absòbe pati sa a nan gaz la pral re-antre koule lè a, polisyon gaz la pi bon kalite.Lè koule lè a nan tib la se koule diskontinu, tib la adsorbe gaz la anba presyon, epi lè koule lè a sispann pase, gaz la adsorbed pa tib la fòme yon gout presyon rezoud, ak gaz la rezoud tou antre nan gaz la pi bon kalite nan tib la. kòm enpurte.An menm tan an, adsorption a ak rezolisyon yo repete, se konsa ke metal la sou sifas enteryè tib la tou pwodui yon sèten kantite poud, ak patikil pousyè metal sa a tou polye gaz la pi andedan tib la.Karakteristik sa a nan tib la esansyèl pou asire pite a nan gaz la transpòte, ki mande pou pa sèlman yon lis trè wo nan sifas enteryè tib la, men tou, yon rezistans mete segondè.
Lè yo itilize gaz la ak gwo pèfòmans korozivite, yo dwe itilize tiyo asye pur ki reziste korozyon pou kanalizasyon.Sinon, tiyo a pral pwodwi tach korozyon sou sifas enteryè a akòz korozyon, ak nan ka grav, pral gen yon gwo zòn nan nidite metal oswa menm pèforasyon, ki pral kontamine gaz la pi bon kalite yo dwe distribye.
Koneksyon an nan gwo-pite ak segondè-pwòpte transmisyon gaz ak distribisyon tiyo nan gwo pousantaj koule.
Nan prensip, tout nan yo soude, ak tib yo itilize yo oblije pa gen okenn chanjman nan òganizasyon lè yo aplike soude.Materyèl ki gen twò wo yon kontni kabòn yo sijè a pèmeyabilite lè a nan pati yo soude lè soude, ki fè pénétration nan mityèl nan gaz andedan ak deyò tiyo a ak detwi pite a, sechrès ak pwòpte nan gaz la transmèt, sa ki lakòz pèt la nan. tout efò nou yo.
An rezime, pou gaz pite-wo ak tiyo transmisyon gaz espesyal, li nesesè yo sèvi ak yon tretman espesyal nan pite-wo tiyo asye pur, fè sistèm tiyo-wo pite (ki gen ladan tiyo, ekipman, tiyo, VMB, VMP) nan distribisyon gaz-wo pite okipe yon misyon enpòtan anpil.
Konsèp jeneral nan teknoloji pwòp pou transmisyon ak distribisyon tiyo
Trè pi ak pwòp transmisyon kò gaz ak kanalizasyon vle di ke gen sèten kondisyon oswa kontwòl pou twa aspè nan gaz la yo dwe transpòte.
Pite gaz: Kontni an nan atmosfè enpurte nan pite gGas la: Kontni an nan atmosfè enpurte nan gaz la, anjeneral eksprime kòm yon pousantaj nan pite gaz, tankou 99.9999%, tou eksprime kòm rapò a volim nan kontni atmosfè enpurte ppm, ppb, ppt.
Sechrès: kantite imidite tras nan gaz la, oswa kantite lajan ki rele mouye, anjeneral eksprime an tèm de pwen lawouze, tankou pwen lawouze presyon atmosferik -70.C.
Lapwòpte: kantite patikil kontaminan ki genyen nan gaz la, gwosè patikil µm, konbyen patikil/M3 pou eksprime, pou lè konprese, anjeneral tou eksprime an tèm de konbyen mg/m3 rezidi solid inevitab, ki kouvri kontni lwil oliv. .
Klasifikasyon gwosè polyan: patikil polyan, sitou refere a fwote tiyo, mete, korozyon ki te pwodwi pa patikil metal, patikil swi atmosferik, osi byen ke mikwo-òganis, faj ak ti gout kondansasyon gaz ki gen imidite, elatriye, dapre gwosè patikil li yo. se divize an
a) Gwo patikil - gwosè patikil ki pi wo a 5μm
b) Patikil - dyamèt materyèl ant 0.1μm-5μm
c) Ultra-mikwo patikil - gwosè patikil mwens pase 0.1μm.
Yo nan lòd yo amelyore aplikasyon an nan teknoloji sa a, yo dwe kapab konpreyansyon pèsepsyon nan gwosè patikil ak inite μm, yo bay yon seri estati patikil espesifik pou referans.
Sa ki anba la a se yon konparezon nan patikil espesifik
| Non / gwosè patikil (µm) | Non / gwosè patikil (µm) | Non / gwosè patikil (µm) |
| Viris 0.003-0.0 | Aerosol 0.03-1 | Microdroplet aerosolize 1-12 |
| Gaz nikleyè 0.01-0.1 | Penti 0.1-6 | Vole sann 1-200 |
| Kabòn nwa 0.01-0.3 | Poud lèt 0.1-10 | Pestisid 5-10 |
| Rezin 0.01-1 | Bakteri 0.3-30 | Pousyè siman 5-100 |
| Lafimen sigarèt 0.01-1 | Pousyè sab 0.5-5 | Polèn 10-15 |
| Silicone 0.02-0.1 | Pestisid 0.5-10 | Cheve moun 50-120 |
| Sèl kristalize 0.03-0.5 | Pousyè souf konsantre 1-11 | Lanmè sab 100-1200 |
Tan poste: Jun-14-2022